
洁净室照明系统需兼顾人员操作舒适度与工艺防污染要求,检测对象包括 LED 洁净灯、紫外灭菌灯、应急照明装置等,覆盖医药、电子、食品行业不同照度需求。
核心检测项目与标准
工作面照度:使用 TES 1339R 照度计检测操作区域照度(医药洁净室≥300lux,电子显微镜区≥500lux),均匀度(最小照度 / 平均照度)≥0.7,符合 GB 50034-2013《建筑照明设计标准》。
光源洁净性:检测灯具表面发尘量(≤100 个 / 0.5μm 粒子 /m²),电子行业洁净室禁止使用易积尘的格栅灯,推荐一体化密封 LED 灯(表面电阻≤1×10¹⁰Ω)。
光谱特性:针对光刻工艺,检测光源在 365nm(i 线)、248nm(KrF)等特定波长的辐射强度,确保曝光精度;医药洁净室紫外灯辐照强度需≥40μW/cm²(254nm 波长)。
检测方法与行业应用
检测高度设定为工作面(0.8m),采用 “五点法”(中心 + 四角)布点,避免灯具直射眩光。百检合作实验室具备光谱辐射计、积分球等专业设备,可开展光源显色指数(Ra≥85)、色温(4000-6500K)等参数校准。
在食品洁净室,增加照明灯具防碎检测(内置防爆膜,破碎后碎片≤5mm);在微电子洁净室,对光刻机照明系统进行纳米级光强均匀性验证。百检依托全国实验室网络,提供照明系统检测与能效评估一站式服务,帮助企业优化照明设计,降低能耗 15%-20%。