洁净室振动主要来源于空调机组、工艺设备及外界环境，检测对象包括光刻机、电子显微镜等精密仪器安装区域，重点控制 10-200Hz 频段内的振动干扰。
核心检测项目与标准
振动幅值：使用三轴加速度传感器（精度 ±0.5% FS）检测 X/Y/Z 方向振动加速度，半导体洁净室要求≤5μm/s²（10-20Hz），≤2μm/s²（20-200Hz），符合 SEMI F2-0308 标准。
频率响应：通过傅里叶变换分析振动能量分布，识别设备共振频率，避免与精密仪器固有频率（如光刻机通常为 50-100Hz）重叠，防止成像误差。
振动传递率：检测洁净室结构（楼板、墙体）对外部振动的隔离效果，要求通过隔振装置后振动衰减率≥80%，执行 GB 50190-2013《工业建筑可靠性鉴定标准》。
检测方法与实施流程
采用 “网格布点法” 在设备基座、工作台面布置传感器（间距≤2m），连续监测 24 小时获取动态数据，使用 MATLAB 进行频谱分析与振动源定位。百检合作实验室配备 PCB 352C65 加速度传感器、LMS SCADAS 数据采集系统，支持纳米级精度的微振检测。
在光刻胶涂胶间，针对 10nm 级制程设备开展超净振动环境评估；在生物检测洁净室，对离心机、流式细胞仪等设备运行时的振动干扰进行实时监测。百检检测团队可提供振动控制优化建议，如加装空气弹簧隔振器、调整设备布局，帮助企业构建稳定的精密制造环境。
