洁净室废气处理系统包括排风高效过滤器（HEPA/ULPA）、活性炭吸附装置、酸碱中和塔等，检测范围覆盖电子半导体（光刻胶废气）、医药化工（溶剂废气）等行业特殊污染物。
核心检测项目与技术要求
排风过滤器效率：采用 PAO 气溶胶扫描法检测过滤器泄漏率（≤0.01%），电子行业 ULPA 过滤器需控制 0.12μm 粒子泄漏率≤0.001%（ISO 29463-3）。
挥发性有机物（VOCs）：使用气相色谱 - 质谱联用仪（GC-MS）检测废气中甲苯、二甲苯等含量，医药洁净室排放浓度≤50mg/m³，符合 GB 37822-2019《挥发性有机物无组织排放控制标准》。
酸碱净化效率：通过中和滴定法测定废气中硫酸雾、氯化氢去除率（≥95%），同时检测排放口 pH 值（6-9），确保符合 GB 14554-1993《恶臭污染物排放标准》。
检测方法与行业应用
检测布点遵循 “上游采样 + 下游比对” 原则，在废气处理装置进出口同步采样，使用崂应 3012H 型自动烟尘（气）采样仪确保等速采样。百检合作实验室具备 CMA 认证的环境检测资质，可针对半导体洁净室开展氟化物（HF）专项检测，生物洁净室进行生物气溶胶（≥0.5μm 粒子≤100 个 /m³）排放监测。
作为第三方检测平台，百检提供废气处理系统全项检测服务，包含过滤器性能验证、活性炭吸附效率评估、排放合规性分析，检测报告可直接用于环保验收与排污许可证申领，助力企业实现洁净室废气处理的全流程质量管控。
