高纯气体（纯度≥99.999%）广泛应用于半导体制造、光纤通信、光伏电池等高端领域，其纯度直接影响产品性能。检测范围包括氮气（N₂）、氩气（Ar）、氢气（H₂）、氦气（He）等工业高纯气体，以及超纯气体（纯度≥99.9999%）。
检测标准以 GB/T 8980-2022《高纯氮》、GB/T 10624-2006《高纯氩》等国家标准为核心，规定了氧（O₂）、水分（H₂O）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO₂）、总烃（THC）等杂质的浓度限值。例如，高纯氮合格品要求氧含量≤5ppm，水分≤15ppm；超纯氮则要求氧含量≤0.1ppm，水分≤1ppm。配套标准包括 GB/T 14604-2008《电子工业用气体 氮气》等行业规范。
检测项目聚焦痕量杂质分析：
氧含量检测：氧是高纯气体中最关键杂质之一，过高会导致半导体材料氧化，采用电化学法（燃料电池）或激光光谱法，检测限可达 ppb 级；
水分检测：水分易造成管道腐蚀和产品缺陷，常用露点法（如冷镜式露点仪）测定，超纯气体需配备精度≤-70℃露点传感器；
总烃检测：包括甲烷、乙烷等碳氢化合物，采用气相色谱法（FID 检测器），检测限≤0.1ppm；
金属杂质检测：如铁、铜、锌等，针对超纯气体需通过电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）测定，检测限低至 ppt 级；
颗粒度检测：采用激光尘埃粒子计数器，监测≥0.1μm 的颗粒污染物。
检测方法结合实验室精密分析与在线监测：
气相色谱法：配备高灵敏度检测器（如 PDHID 脉冲放电氦离子化检测器），可分离检测高纯气体中数十种痕量杂质；
光谱分析法：紫外吸收光谱（UV）检测氧气，傅里叶变换红外光谱（FTIR）检测 CO、CO₂；
质量流量计校准：针对高纯气体流量稳定性检测，确保供气系统精度符合工艺要求。
上海百检检测中心在高纯气体检测领域具备全量程覆盖能力，合作实验室配备德国赛多利斯露点仪、美国安捷伦气相色谱仪等尖端设备，可提供从原料气检测到管道输送系统洁净度验证的全链条服务。针对半导体行业的超纯气体检测需求，严格遵循 SEMI E49 等国际标准，检测费用较同类型机构低 10%-15%，数据可直接用于工艺参数优化。如需高纯气体检测服务，欢迎联系百检获取高精度检测方案。
