电子工业特种气体（如硅烷（SiH₄）、氨气（NH₃）、三氟化氮（NF₃））是半导体晶圆制造、LED 芯片生产的关键原材料，其质量直接影响集成电路良品率。检测范围覆盖气体生产、储存、输送全流程，涉及电子级、超电子级（SEMI G5）气体。
检测标准以 GB/T 14852-2016《电子工业用气体 硅烷》、GB/T 14601-2012《电子工业用气体 氨》为主，规定了主体成分纯度（如硅烷纯度≥99.99%）、杂质含量（金属离子≤1ppb）及颗粒度（≥0.2μm 颗粒≤5 个 / L）要求。国际标准遵循 SEMI E48《电子级气体杂质浓度规范》，对砷化氢（AsH₃）、磷化氢（PH₃）等剧毒气体制定严格限值。
检测项目分为化学指标与物理指标：
纯度与杂质检测：
主体成分：采用气相色谱法（TCD 热导检测器）测定硅烷、氨气纯度；
痕量杂质：质谱法（MS）检测三氟化氮中的氟气（F₂）、四氟化碳（CF₄）；电感耦合等离子体发射光谱（ICP-OES）测定金属离子；
颗粒度与水分检测：
激光尘埃粒子计数器实时监测输送管道内颗粒污染，超洁净环境需控制≥0.1μm 颗粒；
电容式露点仪检测水分含量，电子级氨气要求水分≤10ppm；
安全性指标：针对剧毒气体需检测分解产物（如硅烷分解产生的硅粉），避免管道堵塞与反应失控。
检测方法融合高精度分析技术：
气质联用（GC-MS）：用于复杂组分分离与定性定量，如检测三氟化氮中的含氟杂质；
激光散射法：在线监测气体输送过程中的颗粒动态，搭配自动反吹系统确保数据可靠性；
微库仑法：测定电子气体中的硫、氯等腐蚀性杂质，检测限可达 ppb 级。
百检检测中心针对电子特种气体的高毒性、高反应活性特点，建立了专属检测流程，合作实验室具备 SEMI 认证的检测能力，可承接硅烷、NF₃等高危气体的取样与分析。检测费用根据气体危险性与检测项目灵活定价，平均低于行业水平 12%，并提供 24 小时加急检测服务。如需电子工业特种气体检测，欢迎联系百检获取符合 SEMI 标准的检测报告。
