洁净室设备设施是维持洁净环境的核心硬件，检测对象包括高效空气过滤器（HEPA/ULPA）、风淋室、传递窗、净化空调机组等。检测周期遵循 ISO 14644-3 标准，建议每年至少开展 1 次全面检测。
核心检测项目与技术要求
过滤器检漏：采用 PAO 气溶胶发生器配合光度计，检测过滤器边框、滤芯接缝处的泄漏率（≤0.01%），执行 GB/T 13554-2008《高效空气过滤器》标准。
压差控制：通过微压差计检测洁净室与相邻区域压差（≥10Pa），以及不同洁净等级区域的梯度压差，确保气流单向流动，避免交叉污染。
空调系统性能：检测送风量、新风量、温湿度控制精度（温度 ±2℃，湿度 ±5% RH），使用 FLUKE 971 温湿度测试仪和风量罩进行校准。
检测方法与实施流程
设备检测前需进行至少 30 分钟的预运行，确保工况稳定。对于 HEPA 过滤器，采用扫描法检测整个过滤面，发现泄漏点及时修补或更换。百检合作实验室配备 TSI 8860 风量仪、Testo 510 压差计等专业设备，支持设备安装调试阶段的现场检测与竣工交付验收。
在半导体行业，针对光刻机配套洁净室的 ULPA 过滤器开展纳米级粒子泄漏检测；在生物制药领域，对隔离器、冻干机等设备的灭菌效果进行生物指示剂验证。百检检测网络覆盖全国 28 个省市，可提供加急检测服务，满足企业设备定期维护和突发故障排查需求。
