电子化学品是电子信息产业的核心材料，其质量直接影响芯片、显示屏等产品的性能与良率。因此，建立高精度的检测体系至关重要。
一、检测范围与标准
电子化学品的检测范围包括光刻胶、电子级溶剂（如 NMP、IPA）、电子气体（如硅烷、氨）、封装材料等。检测标准主要依据 GB/T 37186-2018《气体分析 二氧化硫和氮氧化物的测定 紫外差分吸收光谱分析法》，该标准适用于电子气体中杂质的检测。此外，GB/T 6682-2008 为实验室用水提供了规范。
二、检测项目与方法
颗粒度检测：激光颗粒计数器可测定试剂中微米级颗粒的数量与分布，如光刻胶中的颗粒度检测，确保其符合半导体制造的洁净要求。
金属杂质分析：电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）可检测试剂中痕量金属杂质（如钠、铁、铜），灵敏度可达 ppt 级，适用于电子级溶剂的质量控制。
纯度与水分：气相色谱法（GC）结合卡尔费休滴定法，可同时测定电子气体的纯度与水分含量，如硅烷纯度检测。
光学性能：紫外 - 可见分光光度法用于检测光刻胶的透光率、吸收波长等光学性能，确保其符合曝光工艺要求。
三、百检检测优势
百检检测中心与电子材料领域专业实验室合作，建立了覆盖电子化学品全项目的检测能力。针对金属杂质检测，采用进口 ICP-MS 设备，结合超纯水系统，可实现 ppt 级检测，费用较行业平均水平低 20%。例如，对一批电子级氢氟酸的检测，百检可在 3 个工作日内完成颗粒度、金属杂质等多项指标的分析。
四、检测意义与应用
电子化学品的质量问题可能导致芯片短路、显示屏缺陷等严重后果。例如，光刻胶颗粒度超标会影响图形转移精度，电子气体金属杂质超标会污染晶圆。通过严格检测，可确保电子化学品符合高端制造要求，提升产品性能与良率。
